半導体マイクロチップ製造アプリケーション用UVカメラ

UV WHP cover

 

半導体を主とするエレクトロニクス/電子部品産業では、日常的に使うさまざまな製品に搭載されるマイクロチップに高い品質と信頼性が求められています。そのため、チップの製造工程に不備や欠陥があると、深刻な事態を引き起こすことがあります。半導体メーカーは、最高水準の製品を生産するために、紫外線(UV)カメラを搭載した検査装置など、さまざまな品質管理ツールを活用しています。UVイメージセンサを搭載したカメラは、反射した紫外線が表面で拡散する性質を利用し、他の検査方法では見逃しがちな表面の微細な欠陥や凹凸を視覚的に検出します。

本書をお読みいただくと以下のことがわかります:

  • 電磁スペクトルの中の紫外線を詳しく見る
  • 産業用UVカメラの半導体検査装置への応用
  • 半導体製造用途のUVカメラを選択する際に考慮する点